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金刚石砂轮磨削单晶硅片面形变规律
来源: | 作者:beijingrongfeng | 发布时间: 2560天前 | 1328 次浏览 | 分享到:
磨削减薄过程中，硅片表面产生亚表面损伤，其中的残余应力使硅片产生翘曲变形......
     磨削减薄过程中，硅片表面产生亚表面损伤，其中的残余应力使硅片产生翘曲变形。因此，研究无光磨磨削时的硅片面形变化规律以评价其加工质量。使用金刚石砂轮无光磨磨削厚度400μm和450μm的硅片并测量其面形。将硅片面形数据从中心向边缘沿径向分割成5个环带，分别研究其面形拟合弯曲曲率半径变化。结果显示：从中心区域到边缘区域、硅片的变形量增大，说明无光磨硅片上的残余应力变大，即磨削加工损伤增大。同时，研究还发现晶向对硅片变形有显著影响，晶向区变形与晶向区变形差异明显。